Санкт-Петербургский Дом Книги
СПРАВОЧНАЯ СЛУЖБА:
(812) 448-23-55
ИНТЕРНЕТ-МАГАЗИН:
(812) 448-78-88
Купить книгу Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие.
  • Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие.


  • Автор: Галперин В.А. и др. ISBN: 978-5-9963-0032-7
    Редактор: Тимошенкова С.П. Издательство: М.:БИНОМ. ЛАБОРАТОРИЯ ЗНАНИЙ
    Год издания: 2014 Вес: 405 гр.
    Серия: НАНОТЕХНОЛОГИИ
Отсутствует в продаже


ОПИСАНИЕ

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Шелухин О.И.
860,40o
Рыжонков Д.И. и др.
279,36o






Интернет-магазин Дома Книги рад представить Вашему вниманию книгу "Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие." из раздела "Нанотехнологии.". Входит в серию, выпущенную издательством "М.:БИНОМ. ЛАБОРАТОРИЯ ЗНАНИЙ", которую Вы также можете купить в интернет-магазине СПб Дома Книги. Перед покупкой книги Вы можете ознакомиться с информацией о ней и номером ISBN 978-5-9963-0032-7. Доставка книги осуществляется почтой РФ, самовывозом, а также курьером по Санкт-Петербургу.

Ваша корзина пуста. Для оформления заказа Вам необходимо добавить товары в корзину с помощью соответствующей кнопки.

ВНИМАНИЕ!



МЫ В СОЦИАЛЬНЫХ СЕТЯХ: