Санкт-Петербургский Дом Книги
ИНТЕРНЕТ-МАГАЗИН:
(800) 555-08-42
СПРАВОЧНАЯ СЛУЖБА ДОМА КНИГИ
НЕВСКИЙ, 28:
(812) 448-23-55
Купить книгу Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование.
  • Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование.


  • Автор: Киреев. В.Ю. ISBN: 978-5-91559-215-4
    Издательство: ДОЛГОПРУДНЫЙ:ИД ИНТЕЛЛЕКТ Год издания: 2016
    Вес: 516 гр.
Цена сегодня при заказе на сайте:
 1 125,00 p
Положить в корзину
Остался 1 экземпляр
*Указана цена интернет-магазина.
Цена в магазине на Невском, 28 может отличаться.
Оплата:
Нажимая на кнопку, Вы соглашаетесь на
обработку персональных данных.
Заказ в 1 клик


ОПИСАНИЕ

В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления. Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов. Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников.







«Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование.» из раздела «Нанотехнологии.» — издание, которое часто покупают как для домашней коллекции, так и в подарок. Всё благодаря высокому качеству полиграфии и яркой визуализации, которые являются визитной карточкой издательства «ДОЛГОПРУДНЫЙ:ИД ИНТЕЛЛЕКТ». Киреев. В.Ю. — интересный автор, уделяющий особое внимание общей концепции и проработке содержания. Поэтому книга стоит своих денег. Доставка осуществляется курьером по Санкт-Петербургу и «Почтой России» при заказе из других городов. Возможен самовывоз.

Ваша корзина пуста. Для оформления заказа Вам необходимо добавить товары в корзину с помощью соответствующей кнопки.

ВНИМАНИЕ!



МЫ В СОЦИАЛЬНЫХ СЕТЯХ: